Super X-Ray arealtetthetsmåler

Bruksområder

Måling kan tilpasses til mer enn 1600 mm beleggbredde. Støtter skanning med ultrahøy hastighet.

Små trekk som tynne områder, riper og keramiske kanter kan oppdages.

Produktdetaljer

Produktetiketter

Prinsipper for måling

Når strålen bestråler elektroden, vil strålen bli absorbert, reflektert og spredt av elektroden, noe som resulterer i en viss demping av stråleintensiteten etter den transmitterte elektroden i forhold til den innfallende stråleintensiteten, og dempningsforholdet er negativt eksponentielt med vekten eller arealtettheten til elektroden.

I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)

I_0: Innledende stråleintensitet

I: Stråleintensitet etter sendeelektrode

λ: Absorpsjonskoeffisient for måleobjekt

m: Tykkelse/arealtetthet av måleobjektet

Høydepunkter på utstyr

Sammenligning av måling av halvledersensor og lasersensor

● Måling av detaljerte omriss og funksjoner: måling av arealtetthet i omriss med millimeter romlig oppløsning med høy hastighet og høy presisjon (60 m/min)

● Ultrabreddemåling: kan tilpasses beleggbredder på over 1600 mm.

● Ultrahøyhastighetsskanning: justerbar skannehastighet på 0–60 m/min.

● Innovativ halvlederstråledetektor for elektrodemåling: 10 ganger raskere respons enn tradisjonelle løsninger.

● Drevet av lineærmotor med høy hastighet og høy presisjon: skannehastigheten økes med 3–4 ganger sammenlignet med tradisjonelle løsninger.

● Egenutviklede høyhastighetsmålekretser: samplingsfrekvensen er opptil 200 kHz, noe som forbedrer effektiviteten og nøyaktigheten til lukket sløyfebelegg.

● Beregning av tap av tynningskapasitet: Punktbredden kan være opptil 1 mm liten. Den kan nøyaktig måle detaljerte funksjoner som omriss av kanttynningsområdet og riper i elektrodebelegget.

Programvaregrensesnitt

Tilpassbar visning av hovedgrensesnittet til målesystemet

● Bestemmelse av tynningsareal

● Kapasitetsbestemmelse

● Ripebestemmelse

Tekniske parametere

Punkt	Parameter
Strålevern	Strålingsdosen på 100 mm fra utstyrets overflate er mindre enn 1 μsv/t
Skannehastighet	0–60 m/min justerbar
Prøvefrekvens	200k Hz
Svartid	<0,1 ms
Måleområde	10–1000 g/㎡
Punktbredde	1 mm, 3 mm, 6 mm valgfritt
Målenøyaktighet	P/T≤10 %Integral på 16 sekunder: ±2σ: ≤± sann verdi × 0,2‰ eller ±0,06 g/㎡; ±3σ: ≤± sann verdi × 0,25‰ eller ±0,08 g/㎡;Integral på 4 sekunder: ±2σ: ≤± sann verdi × 0,4‰ eller ±0,12 g/㎡; ±3σ: ≤± sann verdi × 0,6‰ eller ±0,18 g/㎡;