CDM integrert tykkelses- og arealtetthetsmåler

Bruksområder

Belegningsprosess: online deteksjon av små trekk ved elektroden; vanlige små trekk ved elektroden: ferieutmattelse (ingen lekkasje fra strømoppsamleren, liten gråforskjell med normalt beleggområde, feil i CCD-identifisering), riper, tykkelseskontur av tynningsområdet, AT9-tykkelsesdeteksjon osv.

Send e-post til oss

Produktdetaljer

Produktetiketter

Prinsipper for måling

Prinsipper for måling av overflatetetthet

Røntgen-β-stråleabsorpsjonsmetode

Prinsipper for tykkelsesmåling

Korrelasjon og lasertriangulering

Tekniske testegenskaper for CDM

Scenario 1: Det er 2 mm bred ferie/mangel på elektrodeoverflaten, og én kant er tykkere (blå linje som vist nedenfor). Når strålepunktet er 40 mm, ser effekten av den målte opprinnelige dataformen (oransje linje som vist nedenfor) tydelig mindre ut.

Scenario 2: profildata for dynamisk tynningsområde 0,1 mm databredde

Programvarefunksjoner

Tekniske parametere

Navn	Indekser
Skannehastighet	0–18 m/min
Samplingsfrekvens	Overflatetetthet: 200 kHz; tykkelse: 50 kHz
Måling av overflatetetthet	Overflatetetthet: 10~1000 g/m²; tykkelse: 0~3000 μm;
Målingsrepetisjon nøyaktighet	Overflatetetthet: 16s integral: ±2σ: ≤±sann verdi * 0,2‰ eller ±0,06 g/m²; ±3σ:≤±sann verdi * 0,25‰ eller +0,08 g/m²; 4s-integral: ±2σ: ≤±sann verdi * 0,4‰ eller ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±sann verdi * 0,6‰ eller ±0,18 g/m²;Tykkelse: 10 mm sone: ±3σ: ≤ ± 0,3 μm; 1 mm sone: ±3σ: ≤±0,5 μm; 0,1 mm sone: ±3σ: ≤±0,8 μm;
Korrelasjon R2	Overflatetetthet >99 %; tykkelse >98 %;
Laserpunkt	25*1400μm
Strålingsbeskyttelsesklasse	GB 18871-2002 nasjonal sikkerhetsstandard (fritak for stråling)
Levetid for radioaktive kilde	β-stråle: 10,7 år (Kr85 halveringstid); røntgen: > 5 år
Responstid for måling	Overflatetetthet < 1 ms; tykkelse < 0,1 ms;
Total effekt	<3 kW